Organic material evaporation source and organic vapor deposition device

WO2005111259 Art A1 24. November 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005111259
Aktenzeichen: EP05739086
Anmeldetag: 13. Mai 2005
Veröffentlichung: 24. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/12C23C14/26H05B33/10H05B33/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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