Display, and method for fabricating same

WO2005111972 Art A1 24. November 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005111972
Aktenzeichen
EP05738888
Anmeldetag
11. Mai 2005
Veröffentlichung
24. November 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G09F9/30H01L21/76H05B33/02H05B33/12H05B33/14H05B33/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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