Method and device for measuring whether a process kit part meets a prescribed tolerance

WO2005114091 Art A2 1. Dezember 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005114091
Aktenzeichen: EP05712458
Anmeldetag: 27. Januar 2005
Veröffentlichung: 1. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01B3/00G01M19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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