Resist compound and resist composition

WO2005114331 Art A1 1. Dezember 2005

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005114331
Aktenzeichen: EP05741299
Anmeldetag: 20. Mai 2005
Veröffentlichung: 1. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038C07C271/28C07C275/40C07C275/62C07D251/34C07D405/14C07F9/18C07F9/655G03F7/027H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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