Replaceable anode liner for ion source

WO2005114701 Art A2 1. Dezember 2005

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005114701
Aktenzeichen: EP05749945
Anmeldetag: 18. Mai 2005
Veröffentlichung: 1. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/14H01J27/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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