Filtration membrane, filtration material and filter element
WO2005115595
Art A1
8. Dezember 2005
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005115595
- Aktenzeichen
- EP05743872
- Anmeldetag
- 25. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01D69/02B01D63/00B01D63/14B01D71/26B01D71/34B01D71/36B01D71/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
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