Thin film forming equipment and thin film forming method

WO2005116293 Art A1 8. Dezember 2005

Anmelder: KONICA MINOLTA HOLDINGS, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005116293
Aktenzeichen: EP05737357
Anmeldetag: 9. Mai 2005
Veröffentlichung: 8. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/509H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KONICA MINOLTA HOLDINGS, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Konica Minolta

Japanisches Technologieunternehmen, das Bürodrucksysteme, Multifunktionsgeräte, optische Geräte sowie Mess- und Sensortechnik herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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