Method of adjusting imaging optical system, imaging device, positional deviation detecting device, mark identifying device and edge position detectinc device

WO2005116577 Art A1 8. Dezember 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005116577
Aktenzeichen: EP05743919
Anmeldetag: 27. Mai 2005
Veröffentlichung: 8. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G03F9/00H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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