Method of preparing specimen for estimation of crystal property and method of estimating crystal property

WO2005116608 Art A1 8. Dezember 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Sasaki, Takatomo, Mori, Yusuke, Takano, Kazufumi, Inoue, Tsuyoshi, Matsumura, Hiroyoshi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005116608
Aktenzeichen
EP05745998
Anmeldetag
30. Mai 2005
Veröffentlichung
8. Dezember 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G01N1/28G01N23/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Sasaki, Takatomo
Mori, Yusuke
Takano, Kazufumi
Inoue, Tsuyoshi
Matsumura, Hiroyoshi
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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