Probe
WO2005116667
Art A1
8. Dezember 2005
Anmelder: National Institute for Materials Science, Japan Electronics Materials Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005116667
- Aktenzeichen
- EP05741582
- Anmeldetag
- 19. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01R1/067H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute for Materials Science
Japan Electronics Materials Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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