Fluid filtration apparatus with feed and outlet side vent
WO2005118106
Art A2
15. Dezember 2005
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005118106
- Aktenzeichen
- EP05764599
- Anmeldetag
- 3. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01D36/00B01D61/20B01D61/00B01D61/10B01D61/30B01D65/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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