Techniques for analyzing non-uniform curvatures and stresses in thin-film structures on substrates with non-local effects

WO2005119192 Art A2 15. Dezember 2005

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005119192
Aktenzeichen: EP05726002
Anmeldetag: 18. März 2005
Veröffentlichung: 15. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01L1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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