Substrate processing device

WO2005123236 Art A1 29. Dezember 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005123236
Aktenzeichen: EP05751557
Anmeldetag: 17. Juni 2005
Veröffentlichung: 29. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B01J4/00G05D7/06H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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