Kalibrierverfahren, Messverfahren, Optische Messvorrichtung und Betriebsverfahren für eine Senderanordnung

WO2005124274 Art A2 29. Dezember 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005124274
Aktenzeichen: EP05751843
Anmeldetag: 17. Juni 2005
Veröffentlichung: 29. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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