Organic siloxane film, semiconductor device using same, flat panel display and raw material liquid

WO2005124846 Art A1 29. Dezember 2005

Anmelder: Hitachi Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005124846
Aktenzeichen: EP05751012
Anmeldetag: 17. Juni 2005
Veröffentlichung: 29. Dezember 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/312H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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