Positioniereinheit und Vorrichtung zur Justage für ein Optisches Element

WO2006000352 Art A1 5. Januar 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006000352
Aktenzeichen: EP05751690
Anmeldetag: 18. Juni 2005
Veröffentlichung: 5. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02G02B7/182G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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