Evaporator, vapor deposition apparatus, and method of switching evaporator in vapor deposition apparatus
WO2006001205
Art A1
5. Januar 2006
Anmelder: Hitachi Zosen Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006001205
- Aktenzeichen
- EP05750879
- Anmeldetag
- 15. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/24C23C14/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Zosen Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi Zosen
Hitachi Zosen ist ein japanischer Schwermaschinenbaukonzern mit Wurzeln im Schiffbau, heute unter anderem in der Umwelt- und Energietechnik aktiv. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2024.
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