Electrostatic Chuck

WO2006001425 Art A1 5. Januar 2006

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006001425
Aktenzeichen: EP05765161
Anmeldetag: 27. Juni 2005
Veröffentlichung: 5. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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