Silicon single crystal manufacturing method and apparatus

WO2006003782 Art A1 12. Januar 2006

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006003782
Aktenzeichen
EP05748968
Anmeldetag
13. Juni 2005
Veröffentlichung
12. Januar 2006
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B13/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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