Substrate temperature measuring apparatus and processor

WO2006003798 Art A1 12. Januar 2006

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006003798
Aktenzeichen: EP05751194
Anmeldetag: 17. Juni 2005
Veröffentlichung: 12. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01K7/02G01K1/14H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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