Fine pattern forming method and fine pattern forming device

WO2006003921 Art A1 12. Januar 2006

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006003921
Aktenzeichen: EP05765412
Anmeldetag: 29. Juni 2005
Veröffentlichung: 12. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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