Etchant for wet etching alxgai-xas epitaxial layer and method for manufacturing semi conductor device using the etchant

WO2006004255 Art A1 12. Januar 2006

Anmelder: Postech Academy-Industry- Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006004255
Aktenzeichen: EP05789797
Anmeldetag: 23. März 2005
Veröffentlichung: 12. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Postech Academy-Industry- Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Postech Academy-Industry Foundation

Die Postech Academy-Industry Foundation ist die Technologietransferstelle der südkoreanischen Universität POSTECH mit Sitz in Pohang. Die Patente stammen aus Forschungsprojekten in Materialwissenschaft, Elektronik und Chemie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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