Use of an active wafer temperature control independent from wafer emissivity

WO2006004783 Art A1 12. Januar 2006

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006004783
Aktenzeichen: EP05764443
Anmeldetag: 27. Juni 2005
Veröffentlichung: 12. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/324C23C16/48C23C16/46C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

26.631 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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