Method for making three-dimensional structures on a substrate having micron dimensions, and an article of manufacture having three-dimensional objects on a substrate with micron dimensions

WO2006007192 Art A2 19. Januar 2006

Anmelder: UNIVERSITY OF DELAWARE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006007192
Aktenzeichen: EP05788825
Anmeldetag: 26. Mai 2005
Veröffentlichung: 19. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF DELAWARE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Delaware

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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