Fluorocarbon film and method for forming same

WO2006008841 Art A1 26. Januar 2006

Anmelder: Kyoto University, Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006008841
Aktenzeichen: EP04822205
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 26. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyoto University
Zeon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

1.706 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

2.552 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von