High-resolution in-plane tuning fork gyroscope and methods of fabrication

WO2006009578 Art A2 26. Januar 2006

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006009578
Aktenzeichen: EP05800948
Anmeldetag: 13. Januar 2005
Veröffentlichung: 26. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01P9/04G01P1/04H01L21/461

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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