Semiconductor structure processing using multiple laser beam spots

WO2006009818 Art A2 26. Januar 2006

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006009818
Aktenzeichen: EP05773312
Anmeldetag: 16. Juni 2005
Veröffentlichung: 26. Januar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/302H01L21/26H01L21/84H01L21/461H01L21/324H01L21/42H01L21/477

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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