High-frequency plasma processing apparatus and high-frequency plasma processing method
WO2006011336
Art A1
2. Februar 2006
Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006011336
- Aktenzeichen
- EP05755854
- Anmeldetag
- 1. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C23C16/505H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sharp Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sharp
Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.
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Vertreten von
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