A method for fabricating spm and cd-spm nanoneedle probe using ion beam and spm and cd-spm nanoneedle probe thereby

WO2006011714 Art A1 2. Februar 2006

Anmelder: Korea Research Institute of Standards and Science 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006011714
Aktenzeichen
EP05761402
Anmeldetag
1. Juli 2005
Veröffentlichung
2. Februar 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G01N13/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Research Institute of Standards and Science
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

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