Processing system and method for chemically treating a tera layer

WO2006014193 Art A1 9. Februar 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006014193
Aktenzeichen: EP05746376
Anmeldetag: 6. Mai 2005
Veröffentlichung: 9. Februar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033H01L21/027G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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