Failsafe switching of intelligent controller method and device

WO2006014888 Art A2 9. Februar 2006

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006014888
Aktenzeichen: EP05775077
Anmeldetag: 25. Juli 2005
Veröffentlichung: 9. Februar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G05B11/01G05B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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