Control system, control method, processing system, computer readable storing medium and computer program

WO2006016436 Art A1 16. Februar 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006016436
Aktenzeichen: EP05727739
Anmeldetag: 29. März 2005
Veröffentlichung: 16. Februar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02H01L21/02H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von