Apparatus for evaluating semiconductor wafer

WO2006016448 Art A1 16. Februar 2006

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006016448
Aktenzeichen: EP05748957
Anmeldetag: 13. Juni 2005
Veröffentlichung: 16. Februar 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/02H01L27/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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