Method and equipment for forming oxide film
Anmelder: Meidensha Corporation, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006016496
- Aktenzeichen
- EP05767147
- Anmeldetag
- 1. August 2005
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/316C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Meidensha Corporation
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
Meidensha ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Maschinen, unter anderem für Energieversorgung, Bahntechnik und Industrieanwendungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter und elektrische Bauelemente. Anmeldungen laufen durchgehend von 2004 bis 2025.
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Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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