Mass or energy transfer cartridge and module
WO2006016923
Art A2
16. Februar 2006
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006016923
- Aktenzeichen
- EP05741808
- Anmeldetag
- 5. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B01D27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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