Germanium-adding source for compound semiconductor, production method of compound semiconductor using the same and compound semiconductor

WO2006022423 Art A1 2. März 2006

Anmelder: SHOWA DENKO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006022423
Aktenzeichen: EP05781422
Anmeldetag: 24. August 2005
Veröffentlichung: 2. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L33/00H01S5/343C23C16/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHOWA DENKO K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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