Polishing apparatus and polishing method

WO2006022452 Art A2 2. März 2006

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006022452
Aktenzeichen: EP05776560
Anmeldetag: 26. August 2005
Veröffentlichung: 2. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B49/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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