Rpobe needle, method of manufacturing probe needle, and method of manufacturing three-dimensional body structure

WO2006025309 Art A1 9. März 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006025309
Aktenzeichen: EP05781047
Anmeldetag: 29. August 2005
Veröffentlichung: 9. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/067G01R1/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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