Film Forming Equipment
WO2006025336
Art A1
9. März 2006
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006025336
- Aktenzeichen
- EP05775183
- Anmeldetag
- 29. August 2005
- Veröffentlichung
- 9. März 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.