Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device manufactured by such method
Anmelder: ROHM CO., LTD., ULVAC, INC., Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006025500
- Aktenzeichen
- EP05781348
- Anmeldetag
- 1. September 2005
- Veröffentlichung
- 9. März 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/768H01L23/522
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ROHM CO., LTD.
ULVAC, INC.
Mitsui Chemicals, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).
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Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.
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