Pump unit for feeding chemical liquid

WO2006027909 Art A1 16. März 2006

Anmelder: CKD Corporation, OCTEC INC., Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006027909
Aktenzeichen: EP05767168
Anmeldetag: 29. Juli 2005
Veröffentlichung: 16. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: F04B53/10B05C11/10F04B43/02H01L21/027F04B43/06F04B53/06F04B53/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CKD Corporation
OCTEC INC.
Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von