Method and apparatus for forming metal film

WO2006028260 Art A1 16. März 2006

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006028260
Aktenzeichen: EP05783318
Anmeldetag: 7. September 2005
Veröffentlichung: 16. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/16H01L21/3205H01L23/52H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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