Controlling Critical Dimensions Of Structures Formed On A Wafer in Semiconductor Processing

WO2006028951 Art A2 16. März 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006028951
Aktenzeichen: EP05793518
Anmeldetag: 31. August 2005
Veröffentlichung: 16. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03C5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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