Method and system for calibrating integrated metrology systems and stand-alone metrology systems that acquire wafer state data

WO2006031263 Art A1 23. März 2006

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006031263
Aktenzeichen
EP05753584
Anmeldetag
25. Mai 2005
Veröffentlichung
23. März 2006
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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