Multi-station rotary machine for polishing wafers of semiconductor electronic components

WO2006032622 Art A1 30. März 2006

Anmelder: STMicroelectronics Srl 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006032622
Aktenzeichen: EP05796974
Anmeldetag: 14. September 2005
Veröffentlichung: 30. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B24B53/007B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: STMicroelectronics Srl
Land: 🇮🇹 Italien

🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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