Methods for producing noble metal films, noble metal oxide films, and noble metal silicide films

WO2006032963 Art A2 30. März 2006

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006032963
Aktenzeichen: EP05784479
Anmeldetag: 31. August 2005
Veröffentlichung: 30. März 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/14C23C16/40C23C16/42H01L21/285H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von