Magnetic field generation device, electromagnetic actuator, stage device, exposure device, and device manufacturing method

WO2006035835 Art A1 6. April 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006035835
Aktenzeichen: EP05787899
Anmeldetag: 28. September 2005
Veröffentlichung: 6. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03G03F7/20H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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