Semiconductor wafer manufacturing method and semiconductor wafer

WO2006035865 Art A1 6. April 2006

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006035865
Aktenzeichen
EP05788380
Anmeldetag
29. September 2005
Veröffentlichung
6. April 2006
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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