Member for supporting thin film coated board, container for storing thin film coated board, mask blank storing body, transfer mask storing body and method for transporting thin film coated board

WO2006035894 Art A1 6. April 2006

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006035894
Aktenzeichen: EP05788182
Anmeldetag: 29. September 2005
Veröffentlichung: 6. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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