Computer-implemented data presentation techniques for a plasma processing system

WO2006036893 Art A1 6. April 2006

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006036893
Aktenzeichen: EP05802171
Anmeldetag: 23. September 2005
Veröffentlichung: 6. April 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G06F11/30G06F15/00G21C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Software & Datenverarbeitung

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